本系於民國六十九年創校時 即設立，並於民國八十九年改名材料科學與工程系，以培育兼具材料研究、材料分析、材料製程、材料處理 等之人才為宗旨，並以培養國內尖端材料產業及光電半導體產業應用所需之人才為主要教學目標。本系師資陣容堅強，教學生動活潑，課程設計以應用性及符合時代潮流為主軸。

民國六十九年七月
創校，設機械材料工程科，並招收五年制新生二班。
民國七十八年八月
增設二年制日間部一班。
民國七十九年四月
附設二年制進修補校一班。
民國八十八年八月
改制並更名為材料科學與工程系，並招收二年制新生一班，停招二專，進修補校停招二專，增設二技部一班。
民國九十年八月
二年制增招一班，五專減招一班。
民國九十一年八月
增設四年制招收一班，五專停招。
民國九十二年八月
招收日間部；四技二班、二技一班；進修學院二技一班。
民國九十五年八月
增設材料科學與綠色能源研究所。
民國九十七年八月
「材料科學與工程系」與「材料科學與綠色能源研究所」系所合一。