民國七十七年成立光電工程科五專部
民國八十一年成立光電工程科二專部
民國八十六年成立光電工程科二技部、光電工程科改為光電工程系
民國八十九學年度提出增設光電與材料科技研究所之申請
民國九十學年度教育部審查通過，受專科與技術學院法規限制，因擱置未能核定成立研究所
民國九十一年初立法院修法
民國九十一年四月正式核定成立開始招生
民國九十二年成立光電工程系四技部
民國九十四年成立光電材料科技研究所博士班
民國九十七年光電工程系與光電材料科技研究所合併