海大光電與材料科技學系之創立，可溯自本校於1993年與1997年分別成立的材料工程研究所與光電科學研究所。材料所與光電所成立後，歷經二十年，培育了許多優秀的高科技人才，畢業同學不僅已擔任到高科技公司高階主管，也有許多進入大專或學術單位繼續教學研究。

由於光電所與材料所在研究發表與經費申請表現上，歷年皆十分優異，也因此累積了豐富的研究設備與資源。 2014年初，為強化研究教學與人才培育，在本校 張清風校長積極鼓勵下，光電所與材料所決定先以學程方式開辦大學部招生。

在兩所教師的努力下，教育部核准本校「光電與材料學士學位學程」於2015年(104年度)正式招生，首次招生30人。2017年底，光電所與材料所提案教育部將兩所併入學程，並改為學系，惟因涉及領域變更與相關作業規定，教育部先同意2018年籌備成立光電與材料科技學系並於2019(108學年度)招生入學，原「光電與材料學士學位學程」配合停止招生。

2017年底，本校提案教育部先將兩所博士班併入學系博士班，次年五月獲准。2018年五月，本校再提案將光電所碩班與材料所碩班併入光電與材料科技學系(含大學、博班)，成為光電與材料科技學系(含大學、博、碩士)，八月獲教育部通過，至此光電與材料科技學系(含大學、博、碩士)體制確定。 2019年(108學年度)，第一屆光電與材料科技學系大學部開始正式招生。"