從80年7月1日本校正式成立，既於80學年度成立電子工程系四年制（四技）一班，81學年度增加電子工程系二年制（二技）一班，83學年度奉核准設立電子與資訊工程研究所，90學年度增加四年制（四技）一班，自92學年度起碩士班更名為電子工程研究所，另成立資訊工程研究所，93學年度再成立光電工程研究所。97學年度成立電子工程系博士班，成為具有大學部、碩士班及博士班的完整系所。

本系奉教育部核准，於100學年度電子工程系碩士班與光電工程研究所碩士班整合為一所，更名為電子與光電工程研究所碩士班(晶片與系統組、微電子與光電工程組)。

100學年度電子工程研究所與光電工程研究所合併為電子與光電工程研究所。 102學年奉依教育部指示系所合一，電子與光電工程研究所更名為：電子工程系碩士班(晶片與系統組、微電子與光電工程組)。 107學年奉依教育部指示，電子工程系碩士班(晶片與系統組、微電子與光電工程組)更名為:電子工程系碩士班(晶片與系統組、半導體與光電應用組)。